 Verfasst am: 27. Jan 2013 10:20 Titel: Ellipsometer |
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| Meine Frage: Hallo Leute, Ich verstehe nicht wirklich wie ein Ellipsometer funktioniert. Ich weiß, dass ein gebündelter Lichtstrahl auf das zu messende Substrat geleitet wird, welches dann von dem Detector aufgefangenw wird. Wie wird denn aber im Detail die Dicke der Schicht gemessen? mfg Meine Ideen: Vielleicht kann man die Dicke durch die Absorption oder so messen, indem man halt einfach guckt, wie der aufgefangene Lichtstrahl beschaffen ist? |
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